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課程名稱 |
薄膜技術與表面分析
Thin-film Technology and Surface |
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開課學期 |
103-2 |
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授課對象 |
工學院 化學工程學系 |
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授課教師 |
陳賢燁 |
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課號 |
ChemE5030 |
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課程識別碼 |
524 U1800 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期四7,8,9(14:20~17:20) |
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上課地點 |
普404 |
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備註 |
化工選修課程。與吳乃立、呂宗昕、吳紀聖、廖英志、趙 玲、康敦彥合開
限學士班四年級以上
總人數上限：50人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1032ChemE5030_ |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
Introduction to various fundamental techniques in analyzing thin-film materials. Lectures on different analytical theories. Students are provided with opportunities to operate experimental instruments and apparatuses. |
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課程目標 |
thin film tech |
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課程要求 |
1. 課程簡介與緒論 (Introduction)
2. X射線光電子光譜（XPS）與螺旋電子光譜（Auger）進行表面分析：
2.1表面分析簡介：
表面的定義；表面敏度；儀器計測法。
2.2 X射線光電子光譜學：
X射線誘導光電子；結合能與化學轉移；光譜特徵。
2.3 螺旋電子光譜學：
電子之螺旋程序；深度剖面解析
2.4 實驗說明
3. 掃描式電子顯微鏡(SEM)分析：
3.1 緒論
3.2 電子顯微鏡的分類及其功能
3.3 電子束與物質之作用
3.4 電子顯微鏡、光學顯微鏡及X光繞射儀之特性與功能比較
3.5 電子顯微鏡之機台構造
3.6電子顯微鏡照片之分析
3.7 實驗說明
4. 薄膜之製作技術一 (Thin film formation methods)：
4.1溶膠-凝膠法：
溶膠-凝膠拉伸法及旋轉塗佈法的原理；溶膠-凝膠法的各項技術；溶膠-凝膠法的各項優點
4.2化學蒸鍍法：
反應種類；化學蒸鍍法的熱力學；氣體傳輸；薄膜成長機制
4.3噴墨法：
反應種類；噴墨法的製程控制；圖案化薄膜製備以及參數分析
4.4電漿及離子光束法
反應濺鍍過程；各種物理蒸鍍法的結合
4.5實驗說明
5. 原子力顯微儀(AFM)
5.1 穿隧效應
5.2 穿隧效應之應用（掃描式穿隧顯微鏡學）
5.3 原子力顯微鏡(AFM)
基本概念介紹；定力操作模式與定高操作模式；儀器計測法（懸臂樑式探測法與壓電陶瓷）；接觸模式（Contact mode）與流動槽；輕叩模式（Tapping mode）。
5.4側力顯微鏡學(LFM)
5.5相差成像（phase imaging）
5.6實驗說明
6. X光繞射分析（XRD）：
6.1 X光繞射原理 ：
6.2 X光繞射晶相分析
6.3 X光繞射晶向與晶粒尺寸分析
6.4研究範例
6.5實驗說明
7. 表面電漿共振 (SPR)：
7.1簡介
表面電漿共振之原理、表面電漿共
振之配置
7.2生物分子間之交互作用
基本定義及原理介紹、結合常數之性質與決定
7.3應用表面電漿共振於生物分子間之交互作用
7.4表面電漿共振數據分析
7.5研究相關範例
7.6 實驗說明
8. 同步輻射簡介
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
待補 |
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期中考 |
40% |
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2. |
期末考 |
40% |
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3. |
課程參與 |
20% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
2/26 |
課程簡介與氣相薄膜製備及分析技術-陳賢燁老師 |
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第2週 |
3/05 |
同步輻射分析技術-詹丁山博士 |
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第3週 |
3/12 |
X光繞射分析-吳乃立老師 |
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第4週 |
3/19 |
XPS-吳紀聖老師 |
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第5週 |
3/26 |
有機光電薄膜之製備與分析-康敦彥老師 |
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第6週 |
4/02 |
溫書假 |
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第7週 |
4/09 |
SEM-呂宗昕老師
（課堂上發放講義）
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第8週 |
4/16 |
AFM、FTIR於薄膜製備及分析之應用-廖英志老師
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第9週 |
4/23 |
期中考 |
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第10週 |
4/30 |
SPR-趙玲老師 |
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第11週 |
5/07 |
氣相薄膜製備 實習 |
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第12週 |
5/14 |
氣體透過率之量測 實習 |
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第13週 |
5/21 |
X光繞射薄膜晶相分析 實習
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第14週 |
5/28 |
原子力顯微儀AFM 實習 |
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第15週 |
6/04 |
以XPS與Auger進行表面分析 實習 |
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第16週 |
6/11 |
掃描式電子顯微鏡SEM 實習 |
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第17週 |
6/18 |
表面電漿共振SPR 實習 |
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第18週 |
06/25 |
期末考 |